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关键词 PLASMA ETCHING(2)
出版物 ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES(2)
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作者

ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES

HUI LS, MUNIR M, VUONG A, HILKE M, WONG V, FANCHINI G, SCHARBER MC, SARICIFTCI NS, TURAK A

ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES

CHEN XB, ZHANG SP, HOU DD, DUAN HW, DENG B, ZENG ZY, LIU BY, SUN LZ, SONG RY, DU JL, GAO P, PENG HL, LIU ZF, WANG LD