| 国家/地区 | |
| 关键词 |
RF MAGNETRON SPUTTERING（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2013（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
THIN SOLID FILMS
TSAI MH, CHANG CJ, LU HH, LIAO YF, TSENG IH
SYNTHETIC METALS
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