| 国家/地区 | |
| 关键词 |
SILICON OXIDE（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2014（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
JOURNAL OF SUPERHARD MATERIALS
TSYSAR MA, POLTORATSKII VG, NOVIKOV NV, BELYAVINA NN, PSYARNETSKAYA TA
MICROELECTRONIC ENGINEERING
HARI S, GOOSSENS AM, VANDERSYPEN LMK, HAGEN CW