| 国家/地区 |
China(2)
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| 关键词 |
THIN FILM(2)
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| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 |
HUNAN UNIV(2)
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| 作者 |
MICRO NANO LETTERS
WANG LL, LI Y, LIU YT
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
LIU RS, PENG MF, ZHANG HY, WAN X, SHEN MI
