国家/地区 |
China(2)![]() |
关键词 |
THIN FILM(2)![]() |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 |
HUNAN UNIV(2)![]() |
作者 |
MICRO NANO LETTERS
WANG LL, LI Y, LIU YT
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
LIU RS, PENG MF, ZHANG HY, WAN X, SHEN MI