国家/地区
关键词 VACANCIE(2)
出版物
出版时间 2016(2)
机构
作者

CARBON

BOTARI T, PAUPITZ R, AUTRETO PAD, GALVAO DS

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING

PARISI L, DI GIUGNO R, DERETZIS I, ANGILELLA GGN, LA MAGNA A