国家/地区 China(2)
关键词 ETCHING(2)
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机构
作者 ZHANG YH(2)

JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS

LIANG YJ, ZHANG YH, CHEN ZY, GE XM, HU SK, LI J, SUI YP, YU GH

THIN SOLID FILMS

GAO XL, XIAO RH, ZHANG YH, CHEN ZY, KANG H, WANG S, ZHAO SW, SUI YP, YU GH, ZHANG W