国家/地区 | China(2) |
关键词 | OXYGEN PLASMA(2) |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | |
作者 | LIU KY(2) |
INFOMAT
WANG WH, LIU KY, JIANG J, DU RX, SUN LT, CHEN W, LU JP, NI ZH
APPLIED PHYSICS EXPRESS
BAI L, WANG WH, YU YF, LIU KY, NI ZH
国家/地区 | China(2) |
关键词 | OXYGEN PLASMA(2) |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | |
作者 | LIU KY(2) |
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WANG WH, LIU KY, JIANG J, DU RX, SUN LT, CHEN W, LU JP, NI ZH
APPLIED PHYSICS EXPRESS
BAI L, WANG WH, YU YF, LIU KY, NI ZH