国家/地区 | China(2) |
关键词 | THIN FILM(2) |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | HUNAN UNIV(2) |
作者 |
MICRO NANO LETTERS
WANG LL, LI Y, LIU YT
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
LIU RS, PENG MF, ZHANG HY, WAN X, SHEN MI
国家/地区 | China(2) |
关键词 | THIN FILM(2) |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | HUNAN UNIV(2) |
作者 |
MICRO NANO LETTERS
WANG LL, LI Y, LIU YT
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
LIU RS, PENG MF, ZHANG HY, WAN X, SHEN MI