国家/地区 France（3）
关键词 FIB（3）
出版物 MICROELECTRONIC ENGINEERING（3）
出版时间 2012（2）
机构 LPN CNRS（2）
作者 BOURHIS E（3） GIERAK J（3） AUVRAY L（2） LUCOT D（2）
MADOURI A（2） MORIN A（2） OUERGHI A（2） PATRIARCHE G（2）
ULYSSE C（2）

FIB patterning of dielectric, metallized and graphene membranes: A comparative study

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HEMAMOUCHE A, MORIN A, BOURHIS E, TOURY B, TARNAUD E, MATHE J, GUEGAN P, MADOURI A, LAFOSSE X, ULYSSE C, GULLET S, PATRIARCHE G, AUVRAY L, MONTEL F, WILMART Q, PLACAIS B, YATES J, GIERAK J

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