国家/地区 | Japan(3) |
关键词 | |
出版物 | JOURNAL OF VACUUM S.(2) |
出版时间 | |
机构 | OSAKA PREFEC.(3) |
作者 | KAWATA H(3) |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
YAMAMOTO M, ASAYAMA Y, YASUDA M, KAWATA H, HIRAI Y
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
ASAYAMA Y, YASUDA M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY A
KIDA S, YAMAMOTO M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y, YASUDA M