| 国家/地区 |
Usa（2）
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| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2014（2）
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| 机构 |
CARNEGIE MELLON UNIV（2）
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| 作者 |
FEENSTRA RM（2）
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
DE LA BARRERA SC, GAO Q, FEENSTRA RM
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
HE GW, SRIVASTAVA N, FEENSTRA RM