国家/地区 Usa(4)
关键词 ATOMIC LAYER DEPOSITION(4)
出版物
出版时间 2014(4)
机构
作者

MATERIALS RESEARCH EXPRESS

BEATTY J, CAO Y, TANABE I, DRIVER MS, DOWBEN PA, KELBER JA

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE TECHNOLOGY

AZIZ S, ZHAO JQ, CAIN C, WANG Y

MRS BULLETIN

VOON LCLY, GUZMANVERRI GG

APPLIED SURFACE SCIENCE

MCDONNELL S, AZCATL A, MORDI G, FLORESCA C, PIRKLE A, COLOMBO L, KIM J, KIM M, WALLACE RM