国家/地区 Usa(2)
关键词 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION CVD(2)
出版物
出版时间 2013(2)
机构
作者

PROCEEDINGS OF THE IEEE

COLOMBO L, WALLACE RM, RUOFF RS

MATERIALS CHEMISTRY PHYSICS

BIRIS AR, DERVISHI E, ARDELEAN S, LAZAR MD, WATANABE F, BIRIS GL, MISAN I, BIRIS AS