国家/地区 Usa(2)
关键词 ALUMINUM NITRIDE(2) GRAPHENE(2) NEMS(2)
PIEZOELECTRIC(2)
出版物
出版时间
机构 NORTHEASTERN UNIV(2)
作者 HUI Y(2)

MICROSYSTEMS NANOENGINEERING

QIAN ZY, HUI Y, LIU FZ, KANG SH, KAR S, RINALDI M