国家/地区 | |
关键词 |
NANOFABRICATION(2)![]() |
出版物 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B(2)![]() |
出版时间 |
2011(2)![]() |
机构 | |
作者 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
MATSUOKA Y, CLARK IT, YOSHIMURA M
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
LEE C, KIM BJ, REN F, PEARTON SJ, KIM J