国家/地区
关键词 NANOFABRICATION(2)
出版物 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B(2)
出版时间 2011(2)
机构
作者

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

MATSUOKA Y, CLARK IT, YOSHIMURA M

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

LEE C, KIM BJ, REN F, PEARTON SJ, KIM J