国家/地区 | Austria(2) |
关键词 | |
出版物 | |
出版时间 | 2013(2) |
机构 | UNIV LEOBEN(2) |
作者 |
EPL
HARTMANN MA, TODT M, RAMMERSTORFER FG, FISCHER FD, PARIS O
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
KRATZER M, KLIMA S, TEICHERT C, VASIC B, MATKOVIC A, RALEVIC U, GAJIC R
国家/地区 | Austria(2) |
关键词 | |
出版物 | |
出版时间 | 2013(2) |
机构 | UNIV LEOBEN(2) |
作者 |
EPL
HARTMANN MA, TODT M, RAMMERSTORFER FG, FISCHER FD, PARIS O
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
KRATZER M, KLIMA S, TEICHERT C, VASIC B, MATKOVIC A, RALEVIC U, GAJIC R