| 国家/地区 | |
| 关键词 |
PECVD（2）
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| 出版物 |
MATERIALS RESEARCH EXPRESS（2）
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| 出版时间 |
2014（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
MATERIALS RESEARCH EXPRESS
QI JL, ZHANG F, ZHANG LX, CAO J, FENG JC
MATERIALS RESEARCH EXPRESS
SCHMIDT ME, XU CG, COOKE M, MIZUTA H, CHONG HMH