国家/地区 |
Russia(2)![]() |
关键词 | |
出版物 | |
出版时间 |
2017(2)![]() |
机构 | JOINT INST N.(2) |
作者 |
KATKOV VL(2)![]() |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
KATKOV VL, OSIPOV VA
EPL
GLEBOV AA, KATKOV VL, OSIPOV VA