| 国家/地区 |
Russia（2）
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| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2017（2）
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| 机构 | JOINT INST N.（2） |
| 作者 |
KATKOV VL（2）
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
KATKOV VL, OSIPOV VA
EPL
GLEBOV AA, KATKOV VL, OSIPOV VA