国家/地区 Usa(2)
关键词
出版物
出版时间 2014(2)
机构 CARNEGIE MELLON UNIV(2)
作者 FEENSTRA RM(2)

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

DE LA BARRERA SC, GAO Q, FEENSTRA RM

JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS

HE GW, SRIVASTAVA N, FEENSTRA RM