国家/地区 | Usa(2) |
关键词 | |
出版物 | |
出版时间 | 2014(2) |
机构 | CARNEGIE MELLON UNIV(2) |
作者 | FEENSTRA RM(2) |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
DE LA BARRERA SC, GAO Q, FEENSTRA RM
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
HE GW, SRIVASTAVA N, FEENSTRA RM
国家/地区 | Usa(2) |
关键词 | |
出版物 | |
出版时间 | 2014(2) |
机构 | CARNEGIE MELLON UNIV(2) |
作者 | FEENSTRA RM(2) |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
DE LA BARRERA SC, GAO Q, FEENSTRA RM
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
HE GW, SRIVASTAVA N, FEENSTRA RM