| 国家/地区 | China（3） |
| 关键词 |
CVD（3）
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| 出版物 | JOURNAL OF ELECTRON.（3） |
| 出版时间 | 2015（2） |
| 机构 |
CHINESE ACAD SCI（3）
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| 作者 |
ZHANG YQ（3）
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JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
TANG CM, CHEN ZY, ZHANG HR, ZHANG YQ, ZHANG YH, SUI YP, YU GH, CAO YJ
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
ZHANG YQ, ZHANG HR, ZHANG YH, CHEN ZY, TANG CM, SUI YP, WANG B, LI XL, XIE XM, YU GH, JIN Z, LIU XY
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
ZHANG HR, ZHANG YH, WANG B, CHEN ZY, SUI YP, ZHANG YQ, TANG CM, ZHU B, XIE XM, YU GH, JIN Z, LIU XY