国家/地区 China(3)
关键词 MAGNETRON SPUTTERING(3)
出版物
出版时间 2012(2)
机构 CHINESE ACAD SCI(3)
作者 XUE QJ(2)

JOURNAL OF SEPARATION SCIENCE

XU LL, FENG JJ, LIANG XJ, LI JB, JIANG SX

ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES

DING JJ, YAN XB, LI J, SHEN BS, YANG J, CHEN JT, XUE QJ