国家/地区 | China(3) |
关键词 | MAGNETRON SPUTTERING(3) |
出版物 | |
出版时间 | 2012(2) |
机构 | CHINESE ACAD SCI(3) |
作者 | XUE QJ(2) |
JOURNAL OF SEPARATION SCIENCE
XU LL, FENG JJ, LIANG XJ, LI JB, JIANG SX
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