国家/地区 China(3)
关键词 CVD(3)
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机构 HARBIN INST TECHNOL(3)
作者 QI JL(2)

SCIENCE CHINATECHNOLOGICAL SCIENCES

PAN QH, ZHOU SH, SHUAI Y, TAN HP

VACUUM

QI JL, WANG ZY, LIN JH, ZHANG TQ, ZHANG AT, CAO J, ZHANG LX, FENG JC