国家/地区 Japan(3)
关键词
出版物
出版时间 2012(3)
机构 OSAKA PREFECTURE UNIV(3)
作者

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

ASAYAMA Y, YASUDA M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

MURASAKI K, ANNO Y, AKITA S, ARIE T

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

NOUCHI R, SAITO T, TANIGAKI K