国家/地区 |
Japan(3)![]() |
关键词 | |
出版物 | |
出版时间 |
2012(3)![]() |
机构 |
OSAKA PREFECTURE UNIV(3)![]() |
作者 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
ASAYAMA Y, YASUDA M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
MURASAKI K, ANNO Y, AKITA S, ARIE T
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
NOUCHI R, SAITO T, TANIGAKI K