| 国家/地区 | Japan(3) |
| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2012(3)
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| 机构 |
OSAKA PREFECTURE UNIV(3)
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| 作者 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
ASAYAMA Y, YASUDA M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
MURASAKI K, ANNO Y, AKITA S, ARIE T
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
NOUCHI R, SAITO T, TANIGAKI K
