国家/地区
关键词 ICPECVD(2)
出版物 PLASMA SCIENCE TEC.(2)
出版时间
机构 ZHEJIANG UNIV(2)
作者 YAN JH(2)

PLASMA SCIENCE TECHNOLOGY

ZHENG JG, TAN QH, CHEN H, WU AJ, LI XD, YAN JH, DAI JX, ZHOU J