国家/地区 | |
关键词 | ICPECVD(2) |
出版物 | PLASMA SCIENCE TEC.(2) |
出版时间 | |
机构 | ZHEJIANG UNIV(2) |
作者 | YAN JH(2) |
PLASMA SCIENCE TECHNOLOGY
ZHENG JG, TAN QH, CHEN H, WU AJ, LI XD, YAN JH, DAI JX, ZHOU J
PLASMA SCIENCE TECHNOLOGY
YANG J, XU RY, WU AJ, LI XD, LI L, SHEN WJ, YAN JH