国家/地区 China（2）
关键词 AIN THIN FILM（2）
出版物
出版时间
机构 ZHEJIANG UNIV（2）
作者 GAO C（2） LE XH（2） PANG JT（2） XIE J（2）
XU Z（2）

A SAW hydrogen sensor based on decoration of graphene oxide by palladium nanoparticles on AIN/Si layered structure

JOURNAL OF MICROMECHANICS MICROENGINEERING

LI DS, LE XH, PANG JT, PENG L, XU Z, GAO C, XIE J

A high performance humidity sensor based on surface acoustic wave and graphene oxide on A1N/Si layered structure

SENSORS ACTUATORS BCHEMICAL

LE XH, WANG XY, PANG JT, LIU YJ, FANG B, XU Z, GAO C, XU Y, XIE J