国家/地区
关键词 ICPECVD(2)
出版物 PLASMA SCIENCE TECHNOLOGY(2)
出版时间
机构 ZHEJIANG UNIV(2)
作者 WU AJ(2)

PLASMA SCIENCE TECHNOLOGY

ZHENG JG, TAN QH, CHEN H, WU AJ, LI XD, YAN JH, DAI JX, ZHOU J