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关键词
出版物 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY A(2)
出版时间 2020(2)
机构
作者

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY A

KAHRO T, CASTAN H, DUENAS S, MERISALU J, KOZLOVA J, JOGIAAS T, PIIRSOO HM, KASIKOV A, RITSLAID P, MANDAR H, TARRE A, TAMM A, KUKLI K

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY A

KITAJIMA T, MIYAKE M, KATOH R, NAKANO T