| 国家/地区 |
China（2）
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| 关键词 |
PRESSURE SENSOR（2）
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| 出版物 |
MICROMACHINES（2）
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| 出版时间 | |
| 机构 | |
| 作者 |
MICROMACHINES
LIU Y, ZHANG Y, LIN X, LV KH, YANG P, QIU J, LIU GJ
MICROMACHINES
SHA BL, LU XZ, JIANG L