| 国家/地区 | |
| 关键词 |
ICPECVD(2)
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| 出版物 |
PLASMA SCIENCE TECHNOLOGY(2)
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| 出版时间 | |
| 机构 | ZHEJIANG UNI.(2) |
| 作者 | LI XD(2) WU AJ(2) YAN JH(2) |
PLASMA SCIENCE TECHNOLOGY
ZHENG JG, TAN QH, CHEN H, WU AJ, LI XD, YAN JH, DAI JX, ZHOU J
PLASMA SCIENCE TECHNOLOGY
YANG J, XU RY, WU AJ, LI XD, LI L, SHEN WJ, YAN JH
