国家/地区 日本(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/00(3)
发明人 YANAGISAWA T(2)
公开年 2002(2)
申请年 2002(3)
专利权人 GSI CREOS CO.(2)