国家/地区 中国(3) 美国(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3) C25D(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(3)
发明人
公开年 2017(2)
申请年 2016(3)
专利权人