国家/地区 美国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 C01(3) C23(3) H01(3)
C25(2) C30(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(3) C25D(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC C23C014/34(3)
发明人
公开年 2016(3)
申请年 2016(3)
专利权人