国家/地区 韩国(3)
IPC部 C(2) G(2) H(2)
IPC大类 C01(2) C08(2) G01(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(2) G01N(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2017(3)
申请年 2015(3)
专利权人 GWANGJU INST SCI TECHNOLOGY(3)