国家/地区 美国(7)
IPC部 B(4) C(4) G(2)
H(2)
IPC大类 B82(4) C01(4) B01(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(4) B82B(3) B01J(2)
B82Y(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(4) B82B003/00(3) C01B031/04(3)
B01J019/12(2) H01L029/78(2)
发明人 CHO B J(2) KIM H(2) KIM H J(2)
OH I(2) OH I K(2)
公开年 2012(3) 2013(3)
申请年 2012(7)
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(7)