| 国家/地区 | 韩国(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(3)
B(2)
H(2)
|
| IPC大类 |
C01(3)
|
| IPC小类 |
C01B(3)
C23C(3)
H01L(2)
|
| IPC |
C01B031/02(3)
C23C016/26(3)
C23C016/44(2)
H01L021/00(2) |
| 发明人 |
JEON S(2)
LEE J(2)
OH S(2)
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| 公开年 |
2012(3)
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| 申请年 | 2012(2) |
| 专利权人 |
KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(3)
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JEON S, LEE J, OH S, RAN O S, SEOP L J, U JEON S, JIN S L, SE R O, SEOK W J
