| 国家/地区 |
美国(2)
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| IPC部 | C(2) |
| IPC大类 | C01(2) C23(2) |
| IPC小类 | C01B(2) C23C(2) |
| IPC | C01B031/04(2) C23C016/26(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 |
2016(2)
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| 申请年 | |
| 专利权人 |
KOREA INST SCI TECHNOLOGY(2)
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JOH H, SON S Y, LEE S H, KIM T
