| 国家/地区 | 日本(2) |
| IPC部 | C(2) |
| IPC大类 |
C01(2)
C23(2)
C30(2)
|
| IPC小类 |
C01B(2)
C23C(2)
C30B(2)
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| IPC |
C23C016/26(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(2)
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KITANO A, SHIMIZU T, KUBO T
HASEGAWA MASATAKA, ISHIHARA MASATOU, KOGA YOSHINORI, KIM JAEHO, TSUGAWA KAZUO, IIJIMA SUMIO, HASEGAWA M, ISHIHARA M, KOGA Y, KIM J, TSUGAWA K, IIJIMA S, YOSHINORI K, HO K J, KAZUO T, SUMIO I, MASATAKA H, MASATOU I, JAEHO K
