国家/地区 日本(2)
IPC部 G(2)
IPC大类 G01(2) H01(2)
IPC小类 G01N(2)
IPC G01N001/28(2) H01J037/20(2)
发明人 HASEGAWA M(2)
公开年
申请年
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(2)