国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5) 世界知识产权组织(4) 美国(2)
IPC部 G(4) H(4)
IPC大类 H01(4) G01(3)
IPC小类 H01L(4) G01T(2)
IPC H01L031/112(4) H01L031/028(3) H01L031/0352(3)
G01T001/20(2) H01L027/146(2) H01L031/0203(2)
H01L031/0224(2) H01L031/0232(2) H01L031/18(2)
发明人 ALLEN M(4) HARRIS N(2) WHITE R(2)
公开年 2017(5)
申请年 2016(5)
专利权人 NOKIA TECHNOLOGIES OY(5)