| 国家/地区 | 欧洲专利局(EPO)(5) 世界知识产权组织(4) 美国(2) |
| IPC部 | G(4) H(4) |
| IPC大类 | H01(4) G01(3) |
| IPC小类 | H01L(4) G01T(2) |
| IPC |
H01L031/112(4)
H01L031/028(3)
H01L031/0352(3)
G01T001/20(2) H01L027/146(2) H01L031/0203(2) H01L031/0224(2) H01L031/0232(2) H01L031/18(2) |
| 发明人 |
ALLEN M(4)
HARRIS N(2)
WHITE R(2)
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| 公开年 | 2017(5) |
| 申请年 |
2016(5)
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| 专利权人 |
NOKIA TECHNOLOGIES OY(5)
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ALLEN M, RONNOW T, BITAULD D, BESSONOV A
