国家/地区 欧洲专利局(EPO)(6) 世界知识产权组织(5) 美国(3) 中国(2) 越南(2)
IPC部 G(5) H(5)
IPC大类 H01(5) G01(4)
IPC小类 H01L(5) G01T(2)
IPC H01L031/112(3) G01T001/20(2) H01L027/146(2)
H01L031/0224(2) H01L031/0232(2) H01L031/028(2)
H01L031/0352(2)
发明人 ALLEN M(6)
公开年 2017(5)
申请年 2016(4) 
专利权人 NOKIA TECHNOLOGIES OY(6)