| 国家/地区 | 日本(2) 美国(2) |
| IPC部 |
C(2)
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| IPC大类 | C01(2) H01(2) |
| IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
| IPC | |
| 发明人 |
OKAI M(2)
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| 公开年 | |
| 申请年 |
2010(2)
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| 专利权人 |
OKAI M(2)
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OKAI M, HIROKA M, WADA Y, HIROOKA M
