| 国家/地区 | 中国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(2) |
| IPC大类 | C01(2) C23(2) |
| IPC小类 | C01B(2) C23C(2) |
| IPC | C01B031/04(2) C23C016/26(2) |
| 发明人 |
WANG S(2)
|
| 公开年 | 2012(2) |
| 申请年 |
2012(2)
|
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(2)
|
DI Z, DING G, GONG Q, LIU Q, WANG H, WANG S, XIE X
DI Z, DING G, GONG Q, JIANG M, SUN L, WANG S, XIE X, ZHU Y
