| 国家/地区 |
世界知识产权组织(2)
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| IPC部 | C(2) |
| IPC大类 | C01(2) C23(2) |
| IPC小类 | C01B(2) C23C(2) |
| IPC | C23C016/26(2) |
| 发明人 |
WU T(2)
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| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(2)
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WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
