国家/地区 中国(3)
IPC部 G(2)
IPC大类 G03(2)
IPC小类 G03F(2)
IPC G03F007/004(2)
发明人 PANG Y(2) WANG J(2) XIN Y(2)
YI M(2) ZOU Y(2)
公开年 2022(2)
申请年 2022(3)
专利权人 UNIV BEIJING NORMAL(3)