国家/地区 | 中国(2) |
IPC部 |
B(2)
C(2)
H(2)
|
IPC大类 |
B82(2)![]() |
IPC小类 |
B82Y(2)![]() |
IPC |
B82Y030/00(2)
C23C016/30(2)
H01J001/304(2)
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发明人 |
LI K(2)
LI Z(2)
SONG G(2)
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公开年 | 2016(2) |
申请年 | 2016(2) |
专利权人 |
UNIV QINGDAO SCI TECHNOLOGY(2)![]() |