国家/地区 美国(4) 韩国(2)
IPC部 C(4) B(3)
IPC大类 C01(4) B82(3) C23(3)
B01(2) B32(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(3) B01J(2)
B32B(2) B82Y(2)
IPC B01J019/12(2) B32B009/00(2) C01B031/04(2)
C23C016/26(2)
发明人 AHN J(4)
公开年
申请年 2009(2) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(4)