国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5) 世界知识产权组织(4) 美国(2) 越南(2)
IPC部 G(5) H(4)
IPC大类 G01(4) H01(4)
IPC小类 H01L(4) G01T(2)
IPC H01L031/112(3) G01T001/20(2) H01L027/146(2)
H01L031/0224(2) H01L031/0232(2) H01L031/028(2)
H01L031/0352(2)
发明人 ALLEN M(5)
公开年 2017(5)
申请年 2016(4) 
专利权人 NOKIA TECHNO.(5)