国家/地区 韩国(2) 美国(2)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L021/336(2) H01L029/16(2)
H01L029/78(2) H01L029/786(2)
发明人 HEO J(2)
公开年 2016(2)
申请年 2015(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)